氣體偵測系統

半導體製程應用

 

 

隨著產業科技的發展，工安事件及職業災害所造成的損失也隨之攀升，在半導體工廠內，因應製程不同之需求，而使用危害氣體甚多，例如：SiH4 B2 H6 PH3 .. 等，萬一不幸發現氣體洩漏時，不僅企業造成損失之外，也對人體造成極大的傷害。

 

氣體偵測統架構

數位通訊連結記錄器|有無紙記錄器

在半導體產業的製程中，許多數值偵測資料都是相當嚴密的，採用有線連接記錄器，除了能為資安要求高的環境提供更安全的保障外，提供有紙與無紙款型的記錄器可供選擇測定點數有6、9或21通道，並支援多種工業I/O，大螢幕顯示，提供趨勢圖、警報等多樣化模式，具有USB介面，可輕鬆將記錄的資料傳輸至電腦上做進一步延伸應用。

 

 

 

無線遠端記錄|Join System

Join System是一款能整合多點實時監控數值的後端應用系統，提供雲端傳輸與區網連接雙架構，可根據自身廠區網絡狀況選擇合適的系統，無線傳輸，高擴充性，Join System不僅可以即時監測廠區各點狀況，也具有Relay開關控制及警報輸出，此系統通過ISO/IEC/CSA STAR資安認證，使每筆數據資料都是嚴加密防，並提供歷史數據圖表記錄，便於分析數值變化，警報發出時，能即時傳送Mail或Line警報通知，提早發現廠區狀況，於各大產業上能靈活應用

 

 

 

使用設備

氣體偵測器，為固定式與手持式兩款，能偵測常見氣體、惰性氣體、可燃性氣體、腐蝕性氣體的特殊氣體，採用多種偵測原理，多種類比與通訊輸出，另也有防爆型可應用於爆炸危險區域內。